プラズマ軟窒化／プラズマ酸窒化
金属製品熱処理用語の”高エネルギー熱処理”に分類されている用語のうち、『プラズマ軟窒化』、『プラズマ酸窒化』のJIS規格における定義その他について。
鉄鋼及び非鉄金属からなる機械部品、ジグ、工具、金型などの金属製品の熱処理に関する主な用語として、金属製品熱処理用語（JIS B 6905）において、”高エネルギー熱処理”に分類されている用語には、以下の、『プラズマ軟窒化』、『プラズマ酸窒化』などの用語が定義されています。
金属製品熱処理用語（JIS B 6905）
⇒【高エネルギー熱処理】
分類： 金属製品熱処理用語 > 高エネルギー熱処理
番号： 3637
用語： プラズマ軟窒化
定義：
減圧した軟窒化性雰囲気中で、陰極とした金属製品と、陽極との間に生じるグロー放電によるプラズマを用いた軟窒化（※1）。
備考：
イオン軟窒化ともいう。
対応英語（参考）：
plasma nitrocarburizing
分類： 金属製品熱処理用語 > 高エネルギー熱処理
番号： 3639
用語： プラズマ酸窒化
定義：
減圧した酸窒化性雰囲気中で、陰極とした金属製品と、陽極との間に生じるグロー放電によるプラズマを用いた酸窒化。（※2）
対応英語（参考）：
plasma oxynitriding
（※1）
軟窒化とは、金属製品を適切な温度で加熱し、その表面に、窒素を主体とし炭素又は酸素を同時に拡散させ、窒化層（軟窒化層）を形成させる処理のことです。
プラズマ軟窒化のほかに、ガス軟窒化、塩浴軟窒化などもあります。
（※2）
酸窒化とは、金属製品を適切な温度で加熱し、その表面に、窒素を主体とし、酸素などを同時に拡散させ、窒化層（酸窒化層）を形成させる処理のことです。
プラズマ酸窒化のほかに、ガス酸窒化などもあります。